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微机电系统技术及应用
课程类型：
选修课
发布时间：
2025-02-19 23:15:44
主讲教师：
课程来源：
建议学分：
0.00分
课程编码：
xtzx0966
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课程概论
MEMS加工技术
微压阻式压力传感器
硅微麦克风
微惯性传感器
静电微执行器
压电微执行器
微流控器件
